超声扫描显微镜的扫描方式有哪些？

超声扫描显微镜的扫描方式有超声A扫描、超声B扫描、超声C扫描、3D扫描、超声T扫描、X断层切片扫描等

超声扫描显微镜（Scanning Acoustic Microscope）简称超声SAM，是用于工业材料的无损检测仪器设备。原理主要是利用超声在不同介质中的声学传播特性，通过超声换能器扫描接收到的超声波幅值、相位等参数，来确定缺陷所在的位置、大小和缺陷类型。超声SAM相较于其他无损检测方式，在检测精度和成像扫描方式占有很大优势，特别是在材料内部分层检测中脱颖而出。随着计算机的快速发展，超声扫描显微镜的信号采集频率和扫描精度都有很大提升。因此，在半导体封装集成电路中，像晶圆Water键合缺陷、大功率电子IGBT，需要使用这种高频超声显微镜设备来检测。

采声超声扫描显微镜

超声扫描显微镜的扫描成像方式可根据扫描路径和成像区域来判断，可分为超声A扫描、超声B扫描、超声C扫描、超声T扫描、X断层切片扫描等。目前，国内超声无损设备厂家北京采声还有一种3D扫描成像模式（三维立体图像）。

（1）A扫描模式：也叫幅度扫描模式，是根据超声波激发后接收的回波幅值。超声换能器对准指定位置发射短波，在遇到不同分界面和缺陷位置时会产生强反射，最后再被超声换能器接收。

A扫描示意图

超声A扫描作用是可以判断样品中是否存在缺陷，根据时间轴判断缺陷在样品中的位置，也可根据缺陷回波幅值的强弱判断缺陷的大小。从采声检测钎焊冷板结果中，可以明显看到超声A扫描图像有缺陷位置产生反射的超声回波信号。

（2）B扫描模式：也叫亮度显示模式，是在A扫描的基础上，沿X轴横向路径进行扫描，并以Z轴垂直的方向扫描得到的图像，图像通过回波幅值的强弱作为辉度调节的值进行显示，得到超声扫描和传播方向所组成的剖面图，相当于一个物体的侧切面。这种B扫描方式，可以通过样品上表面反射回波的图像来确定工件表面的平整度。

B扫描示意图

（3）C扫描模式：也叫恒定深度扫描模式，超声C扫描是超声扫描显微镜使用最广泛的模式，该扫描模式是超声换能器先沿X轴方向扫描，同时向Y轴方向运动一小段距离，在向X轴反方向运动，最终完成整个样品的扫描。

C扫描示意图

水浸超声扫描纤维复合板场景：由左向右，由上至下；反过来，由右向左，由上至下

采声水浸超声C扫描设备，搭配进口软件，可对缺陷进行分类统计，便于用户快速查找有效数据。下图对碳纤维泡沫夹层材料中脱粘缺陷和冲击损伤进行区分，并可选出自定义的缺陷类型进行统计，最终以列表的形式呈现。

（3）X扫描模式：也叫切片断层扫描，这种扫描方式通过超声C扫描的基础上呈现多层次显示，适用于不确定材料的内部结构，可以更高效地了解材料内部信息，此模式需要同时显示多层剖面图像，因此需要计算机内存足够高，同时显示的层数也会受到计算机的制约。采声水浸超声X扫描将碳纤维层压板切分11层，每层缺陷形态各异，可以直观看到缺陷位置存在较深层处。

X扫描示意图

采声3D扫描模式：也叫三维立体成像，这种模式也是由C扫描图像的基础上得来的，可以观察内部缺陷反射状态。

综上所述，水浸超声扫描显微镜SAM支持超声A-Scan、（点波信号检测）B-Scan、（纵切面成像）C-Scan、（横截面成像）T-Scan（透射成像成像）X-Scan（一次多层成像）C+TScan（反射、透射同时成像）3D-Scan（三维立体成像）等丰富的扫描模式。