金刚石原材料的质量直接影响到半导体产业性能的高低,在5G通信、智能物联网、新能源汽等新型产业的发展下,对半导体芯片提出了更高的标准。自人造金刚石问世以来,它所可以制成的半导体晶圆尺寸在2英寸以上,堪称为终极半导体。然而经过半个世纪的发展,金刚石扩展出二极管和晶体管,在电子领域中可针对高击穿电压、高击穿场强、高温工作、低导通电阻、高开关速度和常关器件等方向。金刚石制成的半导体器件的技术仍面临一些挑战,其中在检测方面就遇到了难题,高精度和微小缺陷上很难实现检测。
用超声扫描显微镜检测金刚石纯净度
目前,金刚石半导体材料的发展中主要有两大瓶颈,一是金刚石晶圆直径过小,很难满足商业化对半导体的需求,为了突破晶圆尺寸大小,需要一台无损检测设备对内部质量进行检测,及时调整工艺参数指标,是可以实现大面积金刚石半导体质量的重要保障;二是缺乏有效的n型掺杂手段会出现晶界位置缺陷,影响金刚石的性能,金刚石的物理属性硬度较高,出现了加工难度大、有效掺杂低的情况。这也增加了对材料研发的难度和研发成本偏高,目前,急需一款可靠无损检测超声扫描显微镜设备以解燃眉之急。采声科技是一家致力于研发超声无损检测设备的厂家,在半导体行业中检测过单晶硅材料,例如:12尺寸金刚石硅晶圆衬底。
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