超声扫描显微镜都有哪几种类型？

前言：无损检测技术是指在不破坏物体材料内部结构的情况下，依据物理量光、电、磁、声接触检测样品时发生的反应，对缺陷类型、大小和位置进行鉴别，无损检测中常用的方法有射线（RT）、磁粉（MT）和超声（UT），由于超声波技术检验具有快速高效，对人体没有不良影响，近几十年来各行各业利用超声检测非常广泛，国内外对超声检测技术和效果十分关注，那么以超声扫描显微镜为代表的设备都有哪些类型呢？并且不同的类型适用于检测什么材料或工件呢？

1.显微超声（高频）：频率在15MHZ到100MHZ以上，随着电子元器件趋向小型化的发展，需要检测的缺陷也越来越小，对扫描精度和采集频率有了很高的要求，比如DIP-8双列直插式封装芯片内部裂纹气泡、Wafer晶圆键合、大功率igbt元器件等，显微超声可适用于半导体集成电路封装和微型器件等领域。

高频显微超声扫描结果——Wafer晶圆键合缺陷超声C-Scan图像

2.水浸超声（浸入式）：频率在15MHZ到50MHZ之间，在工业领域中，焊接问题是无损检测中最常见的，比如一些液冷散热器内部流道焊接质量、金刚石复合片、铝蜂窝结构板材、大型板棒材、管材等，水浸超声中高频适用领域为航空航天、汽车零部件、工业化大型锻件等行业领域的检测。

水浸超声扫描结果——液冷散热板流道焊接缺陷超声C-Scan图像

3.喷水超声：喷水式耦合超声检测是将探头安装在特殊设计的水套内，具有一定压力的耦合水在水套的腔体内汇集，然后经喷嘴喷出形成射流水柱。探头激发的超声波先后经过水套腔体、喷嘴流道、射水柱最后到达工件表面，再通过水-工件界面进入工件内部，实现声耦合过程。喷水式耦合超声检测的检测方法分为反射法。

喷水超声扫描结果——碳纤维复合气瓶缠绕超声C扫描图像

4.空耦超声：频率在20KHZ-3MHZ之间，空耦超声技术是复合材料质量检测的“利器”，复合材料凭借着耐热性、高强度、高韧性的特点，在航空航天、军工装备、汽车制造中得到了大量的使用：像航空机翼、涡轮叶片、军工陶瓷装甲、导弹弹头端头部分都选用纤维复合增强材料，因此复合材料的质量需要严格把控。空气耦合超声技术作为一种真正意义非接触式扫描，不需要耦合剂，以空气作为传播介质，可以实现内部材料稀疏具有一定厚度复材的检测。

新能源汽车电池外壳——云母材料

空耦超声扫描结果——云母材料板超声C扫描图像

北京采声科技有限公司是一家专业从事无损检测设备、工业自动化系统的研发、生产与销售的企业，公司致力于成为技术顶尖、服务领先的无损检测系统及方案的提供商。企业自动化超声检测涵盖了水浸超声系统、喷水超声系统、空耦超声系统和显微超声系统；应用于主机厂（航空航天）大型板棒（管）材、航材零部件、复合材料、汽车轴套、新能源电池和电子芯片封装等领域。