超声扫描显微镜是一种用于检测工件内部结构、缺陷的无损检测设备,可以识别内部分层、气孔、裂纹和夹杂等缺陷。通过超声换能器接收不同界面及材料声阻抗的差异化来判断缺陷位置及大小。其中,扫描方式有透射和反射两种,反射扫描主要分析超声波在分层或者缺陷上的反射波,可以确定缺陷的位置和尺寸,并实现A扫描、B扫描、C扫描、3D扫描等多种检测方法。
随着超声扫描检测方式的多样化,各个领域客户材料的差异化,超声扫描显微镜(简称“SAM”)可以不破坏被检材料的情况下进行检测,它在节约原材料,提高产品质量起到了很大的作用。对于航空航天、军工装备、半导体封装、新能源汽车、高校实验室等行业领域具有重要意义。
超声扫描显微镜工作原理
超声SAM向被检工件发送并接收信号波,通过耦合介质纯净水或酒精到达样品表面。由于超声能量的传递要求介质是连续的,所以在遇到如气孔、杂质、分层、裂纹等不连续界面都会干扰超声信号传播并导致超声信号反射。
当超声波信号通过样品的时候,由于不同材料声阻抗的不同,在有缺陷或粘结不良的界面会出现反射波。超声波换能器接收到的反射回波信号通过超声波发射接收器传输给 A/D数据采集卡,回波信号经过处理,以波形的方式(A扫描)显示在屏幕上。
而波形对应的器件内部图像也可以展示在操作界面上。三轴运动系统带着超声波换能器对被测器件进行高速扫描,最终得到一张相应界面的高分辨率超声C扫描图像。这些图像能够显示工件内部裂纹、孔隙、焊接不良等缺陷,具备非破坏性、高分辨率、实时性等特点。超声扫描显微镜广泛用于航空航天、新能源汽车、半导体封装、电子设备等。
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