《靶材行业》钼靶材内部气孔超声C扫描分析

靶材是电子信息产业重要的“关键人物”他参与了平板显示功能、半导体集成电路、光伏太阳能、玻璃镀膜等工作。目前电子行业中大尺寸的钼靶材使用需求量较大，在TFT-LCD和AMO-LED这两种显示屏制造工艺中，钼靶材成为了制作栅电极导电薄膜中的AL的“屏蔽罩——阻挡层”，防止导电层与下层金属反应形成高阻化合物，高阻化合物在电路中会导致信号衰减影响传感器的性能，造成显示屏幕故障。因此利用超声扫描显微镜——C扫描技术对钼靶材溅射薄膜质量加以分析。

在钼靶材实际应用中，相对密度小的靶材内部气孔多，这会导致在磁控溅射过程中内部气孔突然释放，靶材颗粒的飞溅造成溅射不均匀，从而降低靶材薄膜的质量。近年来，国内的靶材制造商开始借助超声扫描显微镜检测靶材溅射薄膜质量。

超声扫描显微镜SAM是基于传统低频超声探伤仪A扫描图像为基础，搭配可以生成C扫描图像的设备及分析软件，实现高精度扫描工件内部缺陷的超声无损检测设备。这种设备可以检测钼靶材物理气相沉积（PhysicalVaporDeposition，PVD）工艺靶材溅射薄膜质量，对上游材料生产；中游靶材镀膜制造及下游的终端的使用非常有利，可以提高靶材行业的良品率。

钼靶材溅射不均匀，气孔缺陷超声C扫描图像

从采声超声检测案例中，我们可以明显看到钼靶材不同情况的气孔缺陷（大小尺寸的孔洞、气孔），超声成像技术在靶材检测中运用很常见，解决了靶材行业内部检测质量的痛点。采声科技作为国内超声C扫描设备研发厂家，制造了高精度水浸超声SAM设备。

这台超声设备以水为耦合剂，利用超声波在材料中传播特性为原理，在遇到不同材料中的缺陷（裂纹或气孔），会产生特殊的信号波幅值，部分信号波会反射给探头，经过数据采集卡收集，传送给图像分析软件，就会生成超声C扫描图像。这种检测方式直接促进了我国靶材行业快速发展，通过检测靶材内部质量缺陷，进而对加工工艺技术升级和改进。

靶材应用领域拓展：

电子器件显示靶材 （1）透明导电薄膜：氧化铟锡靶材，氧化锌铝靶材等

           （2）电极布线薄膜：钼靶材，钨靶材，铝靶材等

           （3）电致发光薄膜：硫化锌掺猛靶材等

半导体领域靶材  （1）电极、布线薄膜：铝靶材，铜靶材，铝硅合金靶材等

           （2）储存器电极薄膜：钼靶材，钛靶材等

           （3）粘附薄膜：钨靶材，钛靶材

北京采声科技有限公司是一家专业研发超声无损检测设备的高新技术企业，自动化超声检测涵盖了水浸超声系统、喷水超声系统、空耦超声系统和显微超声系统；应用于主机厂（航空航天）大型板棒（管）材、航材零部件、复合材料、汽车轴套、新能源电池和电子芯片封装等领域；覆盖了实验室型、工业重载型、塔式结构、机械臂结构及非标定制类型，满足无损检测行业各类标准自动化检测的需求。