水浸超声铜靶材溅射薄膜质量检测

商朝时期，铜的冶炼技术已经非常成熟了。在中国经过2000多年的发展，工匠可以用滚烫的铜液熟练制作出符合各种需求的器，而鼎的制作不同于兵器和农用工具，造型反复多样，当时的中国人为此研发出一种特别的铸造工艺被称为复合泛铸技术，相当于我们今天的铸造工艺，而打造好的铜器也随着时间的推移氧化成青绿色，被我们现代人称之为青铜器。这段悠久的历史背景也奠定了我们国家不断发展时的需求促使了金属制作工艺的多样性。

商朝时期—鼎

铜靶材是现在工业上比较流行的金属材料之一，被广泛应用于电子领域中的集成电路制造、医学领域中的X射线靶材、光学领域中的半导体薄膜、航空领域中的导热材料等。它是金属之心，科技之源。在尖端领域的需求上占主导地位。铜靶材是以高纯度铜作为原材料，对原材料进行锻造，轧制、热处理，而绝大部分靶材制作厂家最关注就是镀膜工艺，靶材的溅射薄膜平整度是否均匀，这也影响着后期使用效果。为了保证铜靶材在各个领域可以确保其优异性能和可靠性，目前检测铜靶材质量是否符合标准，成为现在靶材制造企业首要考虑的问题。

铜靶材镀膜工艺—溅射薄膜缺陷超声水浸C扫描检测

超声检测是工业上使用最多的无损检测方式，用于金属、复合材料内部探伤。它的频率检测精度约为对应频率波长的一半。小于20MHZ频率以下频率的超声波缺陷辨精度大于1.5mm，而镀膜工艺往往用于航空精加密零部件上，对溅射的质量要求较高，传统低频探伤设备并不能解决高精度镀膜工艺缺陷检测的难题，要想对工件做出精准的缺陷检测，更需要高频率的超声换能器和稳定的超声系统，超声扫描显微镜由此而生。

高精度靶材水浸超声C扫描设备

系统是一套针对超声检测利用探头进行自动化扫描。系统可实现超声波探头自动化检测，利用XY轴作为平面运动，结合Z轴步进运动，根据不同位置的反射波进行扫描成像，并计算缺陷位置大小尺寸。

这是采声科技利用此设备检测的结果图

超声检测铜靶材溅射不均匀缺陷图像

上述检测案例中，我们可以明显看出铜靶材镀膜工艺溅射不均匀缺陷情况，（红框内及未标注的边缘位置）市场对高质量靶材的需求，带动了高精度检测的发展，同时靶材的检测也离不开无损超声检测技术，一个合格的工件更离不开制造厂商对企业高度负责的精神，相信人们对产品是否标准越来越重视，水浸超声检测技术在我国越来越广泛。目前采声在国内检测金属和复合材料技术获得头部企业的广泛认可，采声科技公司不断跟踪国内外先进技术动态，加强新产品研发，持续为中国工业发展做出贡献。